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名称 機関 メーカー 共用範囲
HR-3246
有機金属気相成長装置 (Metal organic vapor phase epitaxy)
東京工業大学
日本酸素
学内学外とも共用
FijiF20
原子層堆積装置 (Atomic layer deposition)
東京工業大学
Ultratech/CamnbridgeNanotech
学内学外とも共用
RIE_10NR
リアクテブイオンエッチング装置 (Reactive ion etcher)
東京工業大学
サムコ
学内学外とも共用
ICP-101RF
ICPリアクテブイオンエッチング装置 (ICP Reactive ion etcher)
東京工業大学
サムコ
学内学外とも共用
ICP-400iP
ダイヤモンド用ICPリアクテブイオンエッチング装置 (ICP Reactive ion etcher for diamond)
東京工業大学
サムコ
学内学外とも共用
PD-100ST
SiO2プラズマCVD 装置 (SiO2 Plasma enhanced CVD)
東京工業大学
サムコ
学内学外とも共用
Multiplex-CVD
SiN/a-SiプラズマCVD 装置 (SiN/a-Si plasma enhanced CVD)
東京工業大学
住友精密工業
学内学外とも共用
KS-702-KM
スパッタ成膜装置(金属用)(Metal Sputtering machine)
東京工業大学
ケーサイエンス (K-science Inc)
学内学外とも共用
KS-702KAM
スパッタ成膜装置(絶縁膜用)(Insulator Sputtering machine)
東京工業大学
ケーサイエンス (K-science Inc)
学内学外とも共用
VE-07-18
基板貼付け装置 (Wafer bonding equipment)
東京工業大学
アユミ工業
学内学外とも共用
EVG301
ウェハ洗浄装置 (Single Wafer Cleaning System)
東京工業大学
EVG
学内学外とも共用
POLARON PN4400
C-Vプロファイラ (C-V profiler)
東京工業大学
バイオ・ラッド ラボラトリーズ
学内学外とも共用
Hivox3001
化合物半導体光素子用酸化炉 (Oxidation System for Vertical Cavity Surface Emitting Laser)
東京工業大学
エピクエスト (EpiQuest)
学内学外とも共用
DAD322
ダイシングソー及びダイシング補助装置 (Dicing saw and dicing support apparatus)
東京工業大学
ディスコ
学内学外とも共用
特注品
スパッタ装置(対向ターゲット式)(Facing Targets sputtering machine)
東京工業大学
エフ・ティ・エスコーポレーション (FTS corp)
学内学外とも共用
DCVD-601BTG
マイクロ波プラズマCVD装置 (Mircowave plasma enhanced CVD)
東京工業大学
アリオス
学内学外とも共用
PrecioNanoPV00043
東京エレクトロン300mm ウェハプローバ (Tokyo Electron 300mm Wafer Prober)
東京工業大学
東京エレクトロン
学内学外とも共用
CM300
FormFactor 300mm ウェハプローバ (FormFactor 300mm Wafer Prober)
東京工業大学
FormFactor
学内学外とも共用
-
クリーンルーム付帯設備一式 (Equipments for clean room)
東京工業大学
-
学内学外とも共用
JBX-8100
電子ビーム露光装置?(Electron beam lithograph system)
東京工業大学
日本電子 (JEOL)
学内学外とも共用
PD-220
プラズマCVD装置 (TEOS-CVD)
早稲田大学
サムコ (samco)
学内学外とも共用
特注品
イオンビームスパッタ装置 (Ion Beam Sputter)
早稲田大学
伯東株式会社 (Hakuto Co., Ltd.)
学内学外とも共用
EVC-1501
電子ビーム蒸着装置 (Electron Beam Vaper Deposition system )
早稲田大学
キヤノンアネルバ株式会社 (CANON ANELVA CORPORATION)
学内学外とも共用
EBX-6D
電子ビーム蒸着装置 (Electron Beam Vaper Deposition system )
早稲田大学
株式会社アルバック (ULVAC, Inc.)
学内学外とも共用
SUNALE R-150
原子層堆積装置 (Atomic Layer Deposition Systems)
早稲田大学
PICOSUN JAPAN株式会社 (Picosun Japan Co. Ltd.)
学内学外とも共用
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〒444-8585 愛知県岡崎市明大寺町字西郷中38番地
電話番号:0564-55-7490
MAIL : eqnet-office@ims.ac.jp
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