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名称 機関 メーカー 共用範囲
SSM150
拡がり抵抗測定装置 (Spreading resistance measurement)
東北大学
Solid state measurement (Solid state measurement)
学内学外とも共用
MA8/BA8 Gen3
両面アライナ (8") Double-side aligner)
東北大学
SUSS
学内学外とも共用
RHL-Pss98/98#
真空アニール炉 (Vacuum annealing)
東北大学
アドバンス理工 Advance Riko)
学内学外とも共用
!-Miller FS-4EP-LL
自動搬送 芝浦スパッタ装置 (冷却型 (Automatic Shibaura sputtering (Cooling))
東北大学
芝浦メカトロニクス Shibaura mechatronics)
学内学外とも共用
RAS-1100BII
シンクロン スパッタ装置 (Shincron sputtering)
東北大学
シンクロン (Shincron)
学内学外とも共用
LAMICS AQL-1900
ウォーターレーザ (Water Laser)
東北大学
澁谷工業 (Shibuya)
学内学外とも共用
CS4800
測長SEM (CD-SEM)
東北大学
日立ハイテク (Hitachi High-Tech)
学内学外とも共用
ATHENA/ATLAS
デバイスシミュレーター (Device Simulator)
筑波大学
SILVACO (SILVACO)
学内学外とも共用
CFS-4EP-LL (i-miller)
スパッタリング装置 (Sputtering System)
筑波大学
芝浦メカトロニクス (SHIBAURA MECHATRONICS)
学内学外とも共用
EB-350T
電子線蒸着装置 (Electron Beam Evaporator)
筑波大学
エイコー (eiko)
学内学外とも共用
ELS-7500EX
電子線描画装置 (Electron Beam Lithography)
筑波大学
ELIONIX
学内学外とも共用
DAD322
ウェハーダイシングマシン (Wafer Dicing Machine)
筑波大学
DISCO
学内学外とも共用
μPG501
パターン投影リソグラフィシステム (Maskless Lithography System)
筑波大学
Heidelberg instruments
学内学外とも共用
STO50-TBD01
インクジェットパターン形成装置 (Inkjet Printer)
筑波大学
SIJテクノロジ (SIJTechnology)
学内学外とも共用
Q 2001CT/MS-A100
微細パターン形成装置群(スピンコーター、マスクアライナー)(Photolithography system (Mask aligner, Spincoater))
筑波大学
Neutronix-Quintel/ミカサ ( Neutronix-Quintel/Mikasa)
学内学外とも共用
RIE-10NR
反応性イオンエッチング装置 (Reactive Ion Etching System)
筑波大学
サムコ (Samco)
学内学外とも共用
B1500A
半導体特性評価システム (Electrical Measurement System)
筑波大学
キーサイト (Keysight)
学内学外とも共用
B1505A
パワーデバイス特性評価装置 (Power Device Electrical Measurement System)
筑波大学
キーサイト (Keysight)
学内学外とも共用
THEMOS-1000
IRエミッション顕微鏡 (IR Emission Microscope)
筑波大学
浜松ホトニクス / TNSシステムズ / 東機通商 (Hamamatsu Photonics K.K. / TNS Systems LLC / Toki Commercial Co., Ltd)
学内学外とも共用
CMPS-308-4K-6P-20
極低温プローブステーション (Cryogenic Probe station )
筑波大学
ナガセテクノエンジニアリング / TNSシステムズ / 東機通商 (Nagase Techno-Engineering Co., Ltd / TNS Systems LLC / Toki Commercial Co., Ltd)
学内学外とも共用
SR1800TS
超高温炉 (Rapid Thermal Annealing (RTA) System)
筑波大学
サーモ理工 (THERMO RIKO CO., LTD)
学内学外とも共用
CDE-7-4
ドライエッチングシステム (Dry Etching Equipment)
筑波大学
芝浦メカトロニクス (SHIBAURA MECHATRONICS CORPORATION)
学内学外とも共用
7476D
ワイヤボンダー (Manual Wire Bonder)
筑波大学
WEST BOND (WEST BOND)
学内学外とも共用
10IBE-EPD_UoT-Y
終点検出器付き イオンミリング?(Ion Milling System with an end-point detector)
筑波大学
伯東
学内学外とも共用
RTP-6
赤外線ランプ加熱装置 [RTP-6 #3]
物質・材料研究機構
アドバンス理工
学内学外とも共用
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自然科学研究機構分子科学研究所 機器センター
〒444-8585 愛知県岡崎市明大寺町字西郷中38番地
電話番号:0564-55-7490
MAIL : eqnet-office@ims.ac.jp
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