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名称 機関 メーカー 共用範囲
VDS-5600
JPEL PECVD (JPEL PECVD)
東北大学
日本生産技術研究所 (JPEL)
学内学外とも共用
P-5000
W-CVD (W-CVD)
東北大学
Applied Materials (Applied Materials)
学内学外とも共用
CFS-4ESII
芝浦スパッタ装置 (加熱型) (Shibaura Sputtering (Heating))
東北大学
芝浦メカトロニクス (Shibaura mechatronics)
学内学外とも共用
CFS-4ESII
芝浦スパッタ装置 (冷却型) (Shibaura Sputtering (Cooling))
東北大学
芝浦メカトロニクス (Shibaura mechatronics)
学内学外とも共用
!-Miller FS-4EP-LL
自動搬送 芝浦スパッタ装置 (Automatic Shibaura Sputtering)
東北大学
芝浦メカトロニクス (Shibaura mechatronics)
学内学外とも共用
EIS-200ERP-NPD-TK
ECRロングスロースパッタ (ECR Long-throw Sputter)
東北大学
エリオニクス (Elionix)
学内学外とも共用
SPC-350
アネルバマルチスパッタ (Anelva multi-sputtering)
東北大学
アネルバ (Anelva)
学内学外とも共用
21-0604
酸素加圧RTA付高温スパッタ装置 (High-temp. sputtering and O2 annealing)
東北大学
ユーテック (Youtec)
学内学外とも共用
SPF-730
アネルバスパッタ装置 (Anelva sputtering)
東北大学
アネルバ (Anelva)
学内学外とも共用
球面成膜用スパッタ装置 (Sputtering for ball)
東北大学
和泉テック (Izumi-tech)
学内学外とも共用
EVC-1501
電子ビーム蒸着装置 (EB evaporation)
東北大学
アネルバ (Anelva)
学内学外とも共用
特注
めっき装置 (Electroplating)
東北大学
山本鍍金試験器 (Yamamoto)
学内学外とも共用
ALK-600
多元材料原子層堆 (ALD)装置 (ALD)
東北大学
テクノファイン (Technofine)
学内学外とも共用
PZ-604
ゾルゲル自動成膜装置 (Automatic sol-gel deposition)
東北大学
テクノファイン (Technofine)
学内学外とも共用
Doctor-T'
MOCVD (MOCVD)
東北大学
ワコム研究所 (Wacom)
学内学外とも共用
MUC-21 ASE-SRE
DeepRIE装置#1 (DeepRIE #1)
東北大学
住友精密工業 (Sumitomo precision products)
学内学外とも共用
MUC-21 ASE-SRE
DeepRIE装置#2 (DeepRIE #2)
東北大学
住友精密工業 (Sumitomo precision products)
学内学外とも共用
Multiplex-ICP SR
DeepRIE装置#3 (DeepRIE #3)
東北大学
STS (STS)
学内学外とも共用
MUC-21 SE-HR
DeepRIE装置#4 (DeepRIE #4)
東北大学
住友精密工業 (Sumitomo precision products)
学内学外とも共用
NE-550
アルバックICP-RIE#1 (Ulvac ICP-RIE#1)
東北大学
アルバック (Ulvac)
学内学外とも共用
CE-300I
アルバックICP-RIE#2 (Ulvac ICP-RIE#2)
東北大学
アルバック (Ulvac)
学内学外とも共用
RIH-1515Z
アルバック多用途RIE装置 (Ulvac RIE)
東北大学
アルバック (Ulvac)
学内学外とも共用
DEA-506
アネルバRIE装置 (Anelva RIE)
東北大学
アネルバ (Anelva)
学内学外とも共用
L-507DL
アネルバSi RIE装置 (Anelva Si RIE)
東北大学
アネルバ (Anelva)
学内学外とも共用
HIRRIE-100
Al-RIE装置 (Al-RIE)
東北大学
芝浦メカトロニクス (Shibaura mechatronics)
学内学外とも共用
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自然科学研究機構分子科学研究所 機器センター
〒444-8585 愛知県岡崎市明大寺町字西郷中38番地
電話番号:0564-55-7490
MAIL : eqnet-office@ims.ac.jp
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