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名称 機関 メーカー 共用範囲
エッチング装置(CDE SiN用)(Chemical dry etching system for Si3N4)
広島大学
神戸製鋼 (Kobe Steel, Ltd.)
学内学外とも共用
エッチング装置(レジスト Ashing用)(Asher)
広島大学
神戸製鋼 (Kobe Steel, Ltd.)
学内学外とも共用
12-228PH
エッチング装置(ICP Poly-Siゲート用)(Inductively coupled plasma etcher for poly-Si)
広島大学
株式会社ユーテック (YOUTECUniversal Technics Co.,Ltd )
学内学外とも共用
VX-20S
エッチング装置(汎用)(Dry etching system for general purpose)
広島大学
株式会社エイコー (EIKO CORPORATION)
学内学外とも共用
C-51
プローバ (High-temperature manual probe station)
広島大学
日本マイクロニクス (Micronics Japan)
学内学外とも共用
4156他
半導体パラメータアナライザ (Semiconductor Parameter Analyzer)
広島大学
アジレント (Agilent)
学内学外とも共用
4284他
LCRメータ (LCR meter)
広島大学
アジレント (Agilent)
学内学外とも共用
4294他
インピーダンスアナライザ (Impedance Analyzer)
広島大学
アジレント (Agilent)
学内学外とも共用
HL5500PC
ホール効果測定装置 (Hall effect measuring device)
広島大学
ACCENT (ACCENT)
学内学外とも共用
DAD322
ダイサー (Dicing Saw)
広島大学
ディスコ (DISCO Corporation)
学内学外とも共用
PDMS加工装置 (PDMS processing equipment)
広島大学
魁・THINKEYほか
学内学外とも共用
ダヴィンチCOLOR
3Dプリンタ (3D Printer)
広島大学
XYZ (XYZ)
学内学外とも共用
IMX-3500 (手動高温仕様)
高温イオン注入装置 (Ion implanter)
広島大学
アルバック
学内学外とも共用
ELS-7500EX
電子線描画装置 (Electron beam lithography system)
香川大学
エリオニクス (Elionix)
学内学外とも共用
MX-1204
マスクレス露光装置 (Mask-less exposure system)
香川大学
大日本科研 (Jpn.Sci.Eng.)
学内学外とも共用
MS-B150
スピンコータ- (Spin-coater)
香川大学
ミカサ (MIKASA)
学内学外とも共用
10W-IBS
デュアルイオンビ-ムスパッタ装置 (Dual ion beam sputtering system)
香川大学
ハシノッテク (Hashino-tech)
学内学外とも共用
DAD3220
ダイシングマシン (Dicing system)
香川大学
DISCO (Disco)
学内学外とも共用
PM5
ウェハプローバ (Wafer prober)
香川大学
カール・ズース (SUSS MicroTec)
学内学外とも共用
フォトリソ装置
分子科学研究所
装置開発室
学内学外とも共用
DL-1000
マスクレス露光装置
分子科学研究所
装置開発室
ナノシステムソリューションズ (NanoSystem Solutions)
学内学外とも共用
RSP-4-RF3×2
小型2源RFスパッタ装置 Cryovac RSP-4-RF3x2
分子科学研究所
装置開発室
クライオバック
学内学外とも共用
ELS-G100
電子ビーム描画装置
分子科学研究所
装置開発室
エリオニクス (Elionix Inc.)
学内学外とも共用
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自然科学研究機構分子科学研究所 機器センター
〒444-8585 愛知県岡崎市明大寺町字西郷中38番地
電話番号:0564-55-7490
MAIL : eqnet-office@ims.ac.jp
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