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名称 機関 メーカー 共用範囲
特注
超高密度液中プラズマ装置 (In-liquid ultra-high density plasma system)
名古屋大学
NUシステム (NU System)
学内学外とも共用
大気圧イオン付着質量分析器 (Atmospheric pressure ion attachment mass spectrometry)
名古屋大学
キャノンアネルバ (Canon Anelva)
学内学外とも共用
特注
真空紫外吸収分光計 (Ultraviolet absorption spectroscopy )
名古屋大学
NUシステム (NU System)
学内学外とも共用
mPG101-UV
レーザ描画装置 (Laser lithography)
名古屋大学
Heidelberg Instruments (Heidelberg Instruments)
学内学外とも共用
E-200S
スパッタリング装置 (Sputtering system)
名古屋大学
キャノンアネルバ (Canon Anelva)
学内学外とも共用
Photonic Professional SCLEAD3CD2000
3次元レーザ・リソグラフィシステム群 (3 dimentional laser lithography system)
名古屋大学
Nanoscribe KISCO (Nanoscribe KISCO)
学内学外とも共用
X-300 BVU-ND
ナノインプリント装置 (Nanoimprint)
名古屋大学
SCIVAX (SCIVAX)
学内学外とも共用
DACS-LAB
パリレンコーティング装置 (Parylene coating system)
名古屋大学
KISCO (KISCO)
学内学外とも共用
JSM-7000FK SPG-724
高精度電子線描画装置 (Scanning electron microscope with add-on lithography system )
名古屋大学
日本電子 サンユー電子 (JEOL Sanyu Electron)
学内学外とも共用
MJB-3
両面露光用マスクアライナ (Mask aligner)
名古屋大学
Suss MicroTec AG (Suss MicroTec AG)
学内学外とも共用
LA410
マスクアライナ (Mask aligner)
名古屋大学
ナノテック (Nanometric Technology)
学内学外とも共用
Multiplex-ASE
Deep Si Etcher (Deep Si Etcher)
名古屋大学
住友精密工業 (Sumitomo Precision Products)
学内学外とも共用
PEM800
両面露光用マスクアライナ (Mask aligner)
名古屋大学
ユニオン光学 (Union)
学内学外とも共用
特注仕様
レーザーアブレーション成膜装置
名古屋工業大学
産学官金連携機構
パスカル株式会社 他
学内のみ
特注仕様
真空蒸着装置
名古屋工業大学
産学官金連携機構
株式会社アルバック 他
学内のみ
STM搭載RHEED装置
名古屋工業大学
産学官金連携機構
-
学内のみ
RHEED/LEED装置
名古屋工業大学
産学官金連携機構
-
学内のみ
RT-70V/RG-7C
抵抗率/シート抵抗測定器
名古屋工業大学
産学官金連携機構
ナプソン株式会社
学内のみ
特型
プラズマ・ガス凝縮クラスター堆積装置 (Plasma-Gas-Condensation Cluster Deposition Apparatus)
名古屋工業大学
産学官金連携機構
日本ビーテック (Vieetech Japan)
学内学外とも共用
SPC-2000HC
スパッタリング蒸着装置 (Sputtering Deposition Apparatus)
名古屋工業大学
産学官金連携機構
アルバック (ULVAC, Inc.)
学内学外とも共用
JIS-300AK/ DBO-1KP-0
真空蒸着装置群 (Vacuum Deposition Equipment)
名古屋工業大学
産学官金連携機構
シンク/ MBRAUN (Sinku of Technology Co., Ltd./ MBRAUN)
学内学外とも共用
自作
中規模カーボンナノファイバー室温合成装置 (Room-Temperature Carbon Nanofiber Growth System (for Medium Sized Samples))
名古屋工業大学
産学官金連携機構
自作 (Home-made)
学内学外とも共用
特型
特型表面ナノ構造形成装置 (Nanostructure Fabrication System)
名古屋工業大学
産学官金連携機構
アルバック (ULVAC)
学内学外とも共用
自作
グラフェン・カーボンナノチューブ合成装置 (Chemical Vapor Deposition System for Graphene and Carbon Nanotubes Growth)
名古屋工業大学
産学官金連携機構
自作 (Home-made)
学内学外とも共用
CFS-4ES
スパッタ(金属、絶縁体)蒸着装置 (Sputtering vapor depositing equipment)
豊田工業大学
芝浦エレテック (Shibaura eletec Corporatoin)
学内学外とも共用
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自然科学研究機構分子科学研究所 機器センター
〒444-8585 愛知県岡崎市明大寺町字西郷中38番地
電話番号:0564-55-7490
MAIL : eqnet-office@ims.ac.jp
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