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名称 機関 メーカー 共用範囲
特注品
精密めっき装置群+ドラフト群 (plating system)
早稲田大学
特注品 (Custom-made products)
学内学外とも共用
PR500
プラズマアッシャー (Plasma Asher)
早稲田大学
ヤマト科学株式会社 (Yamato Scientific Co., Ltd.)
学内学外とも共用
RIE-101iPH
ICP-RIE装置 (Inductively Coupled Plasma reactive ion etching)
早稲田大学
サムコ株式会社 (Samco Inc.)
学内学外とも共用
RIE-10NR
CCP-RIE装置 (Capacitive Coupled Plasma reactive ion etching)
早稲田大学
サムコ株式会社 (Samco Inc.)
学内学外とも共用
RIE-400iPB
Deep-RIE装置 (deep reactive ion etching)
早稲田大学
サムコ株式会社 (Samco Inc.)
学内学外とも共用
MA6
紫外線露光装置 (ultraviolet lithography)
早稲田大学
ズース マイクロテック グループ (SUSS MicroTec Group)
学内学外とも共用
ELS-7500
電子ビーム描画装置 (Electron Beam Lithography Exposure)
早稲田大学
株式会社エリオニクス (ELIONIX INC.)
学内学外とも共用
MLA150
レーザー直接描画装置 (Advanced Maskless Aligner )
早稲田大学
ハイデルベルグ・ジャパン株式会社 (Heidelberger Druckmaschinen AG)
学内学外とも共用
プローバ:長瀬産業社製(特注品) 測定装置:アジレント社製B1505A
高耐圧デバイス測定装置+ 高耐圧プローバ (high votage semiconductor device analyzer)
早稲田大学
プローバ:長瀬産業株式会 (特注品) 測定装置:アジレント社製B1505A (NAGASE & CO., LTD.)
学内学外とも共用
プローバ:長瀬産業社製(特注品) 測定装置:アジレント社製B1500A LCRメータ4284A
高性能半導体デバイス アナライザ+プローバ (semiconductor device analyzer)
早稲田大学
キーサイト・テクノロジー株式会社 (Keysight Technologies, Inc.)
学内学外とも共用
DAD321
ダイシングソー (dicing saw)
早稲田大学
株式会社ディスコ (DISCO Corporation)
学内学外とも共用
特注品
データコンバートシステム (data converter)
早稲田大学
有限会社君塚製作所 (KSS Internet)
学内学外とも共用
DSO X-3054T N9322C ZM2371
電気計測装置群(オシロスコープ、スペクトルアナライザー、LCRメーター、等)(Electrical measuring device group)
早稲田大学
キーサイト 株式会社エヌエフ回路設計ブロック (Keysight Technologies, Inc. NF CORPORATION)
学内学外とも共用
クリーンルーム微細加工装置群 (clean room facility)
北陸先端科学技術大学院大学
学内学外とも共用
PALET DDB-701-DL4
マスクレス露光装置 (Maskless lithography)
名古屋大学
ネオアーク
学内学外とも共用
NH-20SR-WMH
イオン注入装置 (Ion implantation)
名古屋大学
日新電機 (Nissin Electric)
学内学外とも共用
Heatpulse 610
急速加熱理装置 (Rapid thermal annealing)
名古屋大学
AG Associates (AG Associates)
学内学外とも共用
HSR-522
3元マグネトロンスパッタ装置 (3 sources magnetron sputtering)
名古屋大学
島津製作所 (SHIMADZU)
学内学外とも共用
JBX6300FS
電子線露光装置 (Electron beam lithography)
名古屋大学
日本電子 (JEOL)
学内学外とも共用
MA-6
両面露光用マスクアライナ (Mask aligner)
名古屋大学
Suss MicroTec AG (Suss MicroTec AG)
学内学外とも共用
RIE-800
ICPエッチング装置 (ICP etching)
名古屋大学
サムコ (Samco)
学内学外とも共用
DAD522
ダイシングソー装置 (Dicing saw)
名古屋大学
サムコ (Samco)
学内学外とも共用
UFL-Hybrid
フェムト秒レーザー加工分析システム (fs laser microfabrication and analysis system)
名古屋大学
輝創 (Kisoh)
学内学外とも共用
8元マグネトロンスパッタ装置 (8 sources magnetron sputtering)
名古屋大学
自作 (Lab made)
学内学外とも共用
8元MBE装置 (8 sources molecular beam epitaxy)
名古屋大学
自作 (Lab made)
学内学外とも共用
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自然科学研究機構分子科学研究所 機器センター
〒444-8585 愛知県岡崎市明大寺町字西郷中38番地
電話番号:0564-55-7490
MAIL : eqnet-office@ims.ac.jp
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