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名称 機関 メーカー 共用範囲
Primaxx uEtch
Vapor HFエッチング装置 (Vapor HF Etching)
東北大学
住友精密工業 (Sumitomo precision products)
学内学外とも共用
KOHエッチング槽 (KOH Etching)
東北大学
-
学内学外とも共用
TMAHエッチング槽 (TMAH Etching)
東北大学
-
学内学外とも共用
SB6e
SUSS ウェハ接合装置 (Wafer bonder)
東北大学
SUSS (SUSS)
学内学外とも共用
Smart View Aligner
EVG ウェハ接合用アライナ (EVG aligner for wafer bonding)
東北大学
EVG (EVG)
学内学外とも共用
520
EVG ウェハ接合装置 (EVG wafer bonder)
東北大学
EVG (EVG)
学内学外とも共用
810
EVG プラズマ活性化装置 (EVG Plasma Activation)
東北大学
EVG (EVG)
学内学外とも共用
DAD-522
ディスコ ダイサ (Disco Dicer)
東北大学
ディスコ (Disco)
学内学外とも共用
東京精密 ダイサ (Accretech dicer)
東北大学
東京精密 (Accretech)
学内学外とも共用
ワイヤボンダ (Wire bonder)
東北大学
Westbond (Westbond)
学内学外とも共用
WM-II
レーザマーカ (Laser marker)
東北大学
GSIルモニクス (GSI)
学内学外とも共用
サンドブラスト (Sand bluster)
東北大学
新東 (Shinto)
学内学外とも共用
Bni52
4インチウェハ研磨装置 (4 wafer polisher)
東北大学
BNテクノロジー (BN technology)
学内学外とも共用
Bni62
6インチウェハ研磨装置 (6 wafer polisher)
東北大学
BNテクノロジー (BN technology)
学内学外とも共用
DAS8920
サーフェイスプレナー (Surface planer)
東北大学
ディスコ (Disco)
学内学外とも共用
ST-50
UVインプリント装置 (UV imprint)
東北大学
東芝機械 (Toshiba machine)
学内学外とも共用
Reprina-T50A
熱インプリント装置 (Thermal imprint)
東北大学
オリジン電気 (Origin)
学内学外とも共用
EXC-1201-DN
エキシマ洗浄装置 (Excimer lamp cleaner)
東北大学
デアネヒステ (Dernaechste)
学内学外とも共用
WM-3
ウェハゴミ検査装置 (Wafer dust counter)
東北大学
トプコン (Topcon)
学内学外とも共用
4探針測定装置 (4-terminal prober)
東北大学
-
学内学外とも共用
SSM150
拡がり抵抗測定装置 (Spreading resistance measurement)
東北大学
Solid state measurement (Solid state measurement)
学内学外とも共用
MA8/BA8 Gen3
両面アライナ (8") Double-side aligner)
東北大学
SUSS
学内学外とも共用
RHL-Pss98/98#
真空アニール炉 (Vacuum annealing)
東北大学
アドバンス理工 Advance Riko)
学内学外とも共用
!-Miller FS-4EP-LL
自動搬送 芝浦スパッタ装置 (冷却型 (Automatic Shibaura sputtering (Cooling))
東北大学
芝浦メカトロニクス Shibaura mechatronics)
学内学外とも共用
RAS-1100BII
シンクロン スパッタ装置 (Shincron sputtering)
東北大学
シンクロン (Shincron)
学内学外とも共用
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自然科学研究機構分子科学研究所 機器センター
〒444-8585 愛知県岡崎市明大寺町字西郷中38番地
電話番号:0564-55-7490
MAIL : eqnet-office@ims.ac.jp
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