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名称 機関 メーカー 共用範囲
EIS-200ERP-NPD-TK
ECRロングスロースパッタ (ECR Long-throw Sputter)
東北大学
エリオニクス (Elionix)
学内学外とも共用
SPC-350
アネルバマルチスパッタ (Anelva multi-sputtering)
東北大学
アネルバ (Anelva)
学内学外とも共用
21-0604
酸素加圧RTA付高温スパッタ装置 (High-temp. sputtering and O2 annealing)
東北大学
ユーテック (Youtec)
学内学外とも共用
SPF-730
アネルバスパッタ装置 (Anelva sputtering)
東北大学
アネルバ (Anelva)
学内学外とも共用
球面成膜用スパッタ装置 (Sputtering for ball)
東北大学
和泉テック (Izumi-tech)
学内学外とも共用
EVC-1501
電子ビーム蒸着装置 (EB evaporation)
東北大学
アネルバ (Anelva)
学内学外とも共用
特注
めっき装置 (Electroplating)
東北大学
山本鍍金試験器 (Yamamoto)
学内学外とも共用
ALK-600
多元材料原子層堆 (ALD)装置 (ALD)
東北大学
テクノファイン (Technofine)
学内学外とも共用
PZ-604
ゾルゲル自動成膜装置 (Automatic sol-gel deposition)
東北大学
テクノファイン (Technofine)
学内学外とも共用
Doctor-T'
MOCVD (MOCVD)
東北大学
ワコム研究所 (Wacom)
学内学外とも共用
MUC-21 ASE-SRE
DeepRIE装置#1 (DeepRIE #1)
東北大学
住友精密工業 (Sumitomo precision products)
学内学外とも共用
MUC-21 ASE-SRE
DeepRIE装置#2 (DeepRIE #2)
東北大学
住友精密工業 (Sumitomo precision products)
学内学外とも共用
Multiplex-ICP SR
DeepRIE装置#3 (DeepRIE #3)
東北大学
STS (STS)
学内学外とも共用
MUC-21 SE-HR
DeepRIE装置#4 (DeepRIE #4)
東北大学
住友精密工業 (Sumitomo precision products)
学内学外とも共用
NE-550
アルバックICP-RIE#1 (Ulvac ICP-RIE#1)
東北大学
アルバック (Ulvac)
学内学外とも共用
CE-300I
アルバックICP-RIE#2 (Ulvac ICP-RIE#2)
東北大学
アルバック (Ulvac)
学内学外とも共用
RIH-1515Z
アルバック多用途RIE装置 (Ulvac RIE)
東北大学
アルバック (Ulvac)
学内学外とも共用
DEA-506
アネルバRIE装置 (Anelva RIE)
東北大学
アネルバ (Anelva)
学内学外とも共用
L-507DL
アネルバSi RIE装置 (Anelva Si RIE)
東北大学
アネルバ (Anelva)
学内学外とも共用
HIRRIE-100
Al-RIE装置 (Al-RIE)
東北大学
芝浦メカトロニクス (Shibaura mechatronics)
学内学外とも共用
PDC210
プラズマクリーナー (Plasma cleaner)
東北大学
ヤマト科学 (Yamato)
学内学外とも共用
UNA-2000
アルバック アッシング装置 (Ulvac Asher)
東北大学
アルバック (Ulvac)
学内学外とも共用
IPC4000
ブランソン アッシング装置 (Branson Asher)
東北大学
ブランソン (Branson)
学内学外とも共用
CDE7
ケミカルドライエッチャ (CDE) (Chemical Dry Etcher (CDE))
東北大学
芝浦メカトロニクス (Shibaura mechatronics)
学内学外とも共用
20IBE-C
イオンミリング装置 (Ion Milling)
東北大学
エヌ・エス/伯東 (NS/Hakuto)
学内学外とも共用
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自然科学研究機構分子科学研究所 機器センター
〒444-8585 愛知県岡崎市明大寺町字西郷中38番地
電話番号:0564-55-7490
MAIL : eqnet-office@ims.ac.jp
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