| 名称 | 機関 | メーカー | 共用範囲 |
|---|---|---|---|
|
ZAA-4
|
東邦化成 (Toho kasei) |
学内学外とも共用
|
|
|
ACS200Gen3
|
Suss (Suss) |
学内学外とも共用
|
|
|
FPA-3030i5+
|
キヤノン (Canon) |
学内学外とも共用
|
|
|
ELS-G125S
|
エリオニクス (Elionix) |
学内学外とも共用
|
|
|
DN43H
|
ヤマト科学 (Yamato) |
学内学外とも共用
|
|
|
UMA-802
|
ウシオ電機 (Ushio) |
学内学外とも共用
|
|
| 東栄科学産業 (Toei Scientific Instruments) |
学内学外とも共用
|
||
|
XL-7
|
東京エレクトロン (TEL) |
学内学外とも共用
|
|
|
MT-10×8-A
|
光洋サーモシステム (Koyo) |
学内学外とも共用
|
|
|
XL-7
|
東京エレクトロン (TEL) |
学内学外とも共用
|
|
|
Model270
|
光洋リンドバーグ (Koyo) |
学内学外とも共用
|
|
|
NH-20SR
|
日新イオン機器 (Nissin) |
学内学外とも共用
|
|
|
XL-7
|
東京エレクトロン (TEL) |
学内学外とも共用
|
|
|
AG4100
|
AG Associates (AG Associates) |
学内学外とも共用
|
|
| オリジナル (Original) |
学内学外とも共用
|
||
| システムサービス (System service) |
学内学外とも共用
|
||
| 国際電気 (Kokusai electric) |
学内学外とも共用
|
||
|
MPX-CVD
|
住友精密工業 (Sumitomo precision products) |
学内学外とも共用
|
|
|
MPX-CVD
|
住友精密工業 (Sumitomo precision products) |
学内学外とも共用
|
|
|
APX-Cetus
|
SPPテクノロジーズ (SPP technologies) |
学内学外とも共用
|
|
|
VDS-5600
|
日本生産技術研究所 (JPEL) |
学内学外とも共用
|
|
|
P-5000
|
Applied Materials (Applied Materials) |
学内学外とも共用
|
|
|
CFS-4ESII
|
芝浦メカトロニクス (Shibaura mechatronics) |
学内学外とも共用
|
|
|
CFS-4ESII
|
芝浦メカトロニクス (Shibaura mechatronics) |
学内学外とも共用
|
|
|
!-Miller FS-4EP-LL
|
芝浦メカトロニクス (Shibaura mechatronics) |
学内学外とも共用
|