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名称 機関 メーカー 共用範囲
・検出器:産総研自主開発 ・顕微鏡:HITACHI S-4500
超伝導蛍光X線検出器付走査型電子顕微鏡 (SC-SEM) (Scanning Electron Microscope with a Superconducting Tunnel Junction X-ray Detector (SC-SEM))
産業技術総合研究所
・検出器:産総研自主開発 ・顕微鏡:日立 (・Detector: AIST Original ・SEM: HITACHI )
学内学外とも共用
Nicolet6700(本体)、Continuμm(顕微)
顕微フーリエ変換赤外分光装置(FT-IR) (Fourier Transform Infrared Spectrometer (FT-IR))
産業技術総合研究所
サーモフィッシャー (Thermo Fisher Scientific)
学内学外とも共用
DXR-Raman Microscope
顕微レーザーラマン分光装置(RAMAN) (Laser Raman Spectrometer(RAMAN))
産業技術総合研究所
サーモフィッシャー (Thermo Fisher Scientific)
学内学外とも共用
UVISEL-M200-FUV-FGMS
分光エリプソメータ (Spectroscopic Ellipsometer)
産業技術総合研究所
堀場 Jovin-Yvon (Horiba Jovin-Yvon)
学内学外とも共用
KRATOS ANALYTICAL
エックス線光電子分光分析装置(XPS) (X-ray Photoelectron Spectroscopy Analysis System (XPS))
産業技術総合研究所
島津製作所 (SHIMADZU)
学内学外とも共用
ADEPT-1010
二次イオン質量分析装置(D-SIMS) (Secondary Ion Mass Spectrometer (D-SIMS))
産業技術総合研究所
アルバックファイ (ULVAC PHI)
学内学外とも共用
Avance III HD 600WB、Avance 200WB、minispec mq20
固体NMR装置 (SSNMR) (Solid-State Nuclear Magnetic Resonance Spectrometer (SSNMR))
産業技術総合研究所
ブルカー・ジャパン
学内学外とも共用
Ultima_Ⅲ
X線回折装置(XRD) (X-ray Diffractometer(XRD))
産業技術総合研究所
リガク (Rigaku)
学内学外とも共用
MPMS-5S
磁気特性測定システム(MPMS) (Magnetic Property Measurement System (MPMS))
産業技術総合研究所
日本カンタムデザイン (Quantum Design Japan)
学内学外とも共用
MODEL6000
物理特性測定装置(PPMS) (Physical Property Measurement System (PPMS))
産業技術総合研究所
日本カンタム・デザイン (Quantum Design Japan)
学内学外とも共用
SEA_5210A
微小部蛍光X線分析装置 (Microscopic X-Ray Fluorescent Analyzer(XRF))
産業技術総合研究所
日立ハイテクサイエンス (Hitachi High-Tech)
学内学外とも共用
Alpha-Step IQ
触針式段差計 (Contact Profiler)
産業技術総合研究所
KLA テンコール (KLA-Tencor)
学内学外とも共用
陽電子プローブマイクロアナライザー(PPMA) (Positron Probe MicroAnalyzer (PPMA))
産業技術総合研究所
産総研自主開発 (AIST Original)
学内学外とも共用
超伝導蛍光収量X線吸収微細構造分析装置 (SC-XAFS) (X-ray Absorption Fine Structure Spectroscopy with a Superconducting Fluorescence Detector (SC-XAFS))
産業技術総合研究所
産総研自主開発 (AIST Original)
学内学外とも共用
可視-近赤外過渡吸収分光装置 (VITA) (Visible/Near-Infrared Transient Absorption Spectrometer (VITA))
産業技術総合研究所
産総研自主開発 (AIST Original)
学内学外とも共用
CABL_9410TFNA
電子ビーム描画装置(CRESTEC) (Electron Beam Lithography System (CRESTEC))
産業技術総合研究所
クレステック (CRESTEC)
学内学外とも共用
DL1000
マスクレス露光装置 (Maskless Lithography System)
産業技術総合研究所
ナノシステムソリューション (Nano System-Solutions)
学内学外とも共用
MJB4
コンタクトマスクアライナー[MJB4] (Contact Mask Aligner〔MJB4〕)
産業技術総合研究所
ズース (SUSS MicroTec)
学内学外とも共用
NSR-2205i12D
i線露光装置 (i-Line Stepper)
産業技術総合研究所
ニコン (Nikon)
学内学外とも共用
RIE-200L
反応性イオンエッチング装置 (RIE) (Reactive Ion Etching System(RIE))
産業技術総合研究所
サムコ (Samco)
学内学外とも共用
RIE-101iPHS-L
多目的エッチング装置(ICP-RIE) (ICP Reactive Ion Etching System(ICP-RIE))
産業技術総合研究所
サムコ (Samco)
学内学外とも共用
電子ビーム真空蒸着装置 (Electeron Beam Vacuum Evaporator)
産業技術総合研究所
エイコーエンジニアリング (EIKO ENGINEERING)
学内学外とも共用
KIS_3
抵抗加熱型真空蒸着装置 (Resistance Heating Vacuum Evaporator)
産業技術総合研究所
ビームトロン (Biemtron)
学内学外とも共用
i-Miller
スパッタ成膜装置(芝浦) (Sputtering System(Shibaura))
産業技術総合研究所
芝浦メカトロニクス (SHIBAURA)
学内学外とも共用
メッキ装置 (Electroplating Equipment)
産業技術総合研究所
山本鍍金試験器 (Yamamoto-ms)
学内学外とも共用
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自然科学研究機構分子科学研究所 機器センター
〒444-8585 愛知県岡崎市明大寺町字西郷中38番地
電話番号:0564-55-7490
MAIL : eqnet-office@ims.ac.jp
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