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名称 機関 メーカー 共用範囲
MB-501010
電子銃型蒸着装置 [MB-501010]
物質・材料研究機構
エイコー・エンジニアリング
学内学外とも共用
UEP-3000BS
電子銃型蒸着装置 [UEP-3000BS]
物質・材料研究機構
アルバック
学内学外とも共用
SUNALE R-150
原子層堆積装置 [SUNALE R-150]
物質・材料研究機構
PICOSUN JAPAN
学内学外とも共用
CE300I
ICP-RIE装置 [CE300I]
物質・材料研究機構
アルバック
学内学外とも共用
RTP-6
赤外線ランプ加熱装置 [RTP-6 #1]
物質・材料研究機構
アドバンス理工
学内学外とも共用
DAD3220
ダイシングソー [DAD3220]
物質・材料研究機構
ディスコ
学内学外とも共用
HMP-400
室温プローバー [HMP-400]
物質・材料研究機構
ハイソル
学内学外とも共用
GRAIL-408-32-B
低温プローバー [GRAIL-408-32-B]
物質・材料研究機構
ナガセテクノエンジニアリング
学内学外とも共用
7476D
ワイヤーボンダー [7476D #1]
物質・材料研究機構
ウェスト・ボンド
学内学外とも共用
MLA 150
マスクレス露光装置 [MLA150]
物質・材料研究機構
ハイデルベルグ・インスツルメンツ
学内学外とも共用
-
電子線トモグラフィー解析システム (Electron tomography analysis system)
物質・材料研究機構
-
学内学外とも共用
VK-9700
短波長レーザー顕微鏡[VK-9700] (Laser Microscope〔VK-9700〕)
産業技術総合研究所
キーエンス (KEYENCE)
学内学外とも共用
OLS-4100
短波長レーザー顕微鏡[OLS-4100] (Laser Microscope〔OLS-4100〕)
産業技術総合研究所
オリンパス (Olympus)
学内学外とも共用
S4800
電界放出形走査電子顕微鏡[S4800_FE-SEM] (Field Emission SEM〔S4800/FE-SEM, HITACHI〕)
産業技術総合研究所
日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech)
学内学外とも共用
S-3500N
低真空走査電子顕微鏡 (Low Vacuum SEM (HITACHI))
産業技術総合研究所
日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech)
学内学外とも共用
S4500
電界放出形走査電子顕微鏡[S4500/FE-SEM] (2F) (Field Emission SEM (HITACHI S-4500))
産業技術総合研究所
日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech)
学内学外とも共用
ERA-9200
3次元電界放出形走査電子顕微鏡(エリオニクス) (3 Dimensional Field Emission SEM)
産業技術総合研究所
エリオニクス (ELIONIX)
学内学外とも共用
NanoscopeⅣ/Dimension3100
走査プローブ顕微鏡SPM_1[NanoscopeⅣ/Dimension3100] (Scanning Probe Microscope 1 (SPM1, NanoscopeIV/Dimension 3100))
産業技術総合研究所
デジタルインスツルメンツ (Veeco/Digital Instruments )
学内学外とも共用
SPM-9700
走査プローブ顕微鏡SPM_2[SPM-9600/9700] (Scanning Probe Microscope 2〔SPM2, SPM-9600/9700〕)
産業技術総合研究所
島津製作所 (SHIMADZU)
学内学外とも共用
SFT_3500
ナノサーチ顕微鏡SPM_3[SFT-3500] (Scanning Probe Microscope 3〔SPM3, SFT-3500, Nano Search Microscope〕)
産業技術総合研究所
島津製作所 (SHIMADZU)
学内学外とも共用
N-6000SS
ナノプローバ[N-6000SS] (NanoProber〔N-6000SS〕)
産業技術総合研究所
日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech)
学内学外とも共用
(1) RSPM1:JSPM5400、(2) RSPM2:E-SWEEP/S-Image
リアル表面プローブ顕微鏡(RSPM) (Real Surface Probe Microscope (RSPM) )
産業技術総合研究所
(1) RSPM1: 日本電子、(2) RSPM2: SII(現・日立ハイテクサイエンス)
学内学外とも共用
IM4000
クロスセクションポリッシャー(ALD付帯) (Cross Section Polisher)
産業技術総合研究所
日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech)
学内学外とも共用
3-IBE
アルゴンミリング装置 (Argon Ion Milling System)
産業技術総合研究所
伯東 (Hakuto)
学内学外とも共用
FB-2100
集束イオンビーム加工観察装置(FIB) (Focused Ion Beam System(FIB))
産業技術総合研究所
日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech)
学内学外とも共用
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自然科学研究機構分子科学研究所 機器センター
〒444-8585 愛知県岡崎市明大寺町字西郷中38番地
電話番号:0564-55-7490
MAIL : eqnet-office@ims.ac.jp
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