| 設置機関 | 九州大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | 顕微鏡 > 走査電子顕微鏡 |
| 製造元 | 日立ハイテクノロジーズ キーエンス ?(Hitachi High-Tech KEYENCE) |
| 型番 | SU9000, VE-9800 |
| 設備名称 | 走査電子顕微鏡装置群 (Scanning electron microscope system) |
| 装置スペック | 【超高分解能走査電子顕微鏡装置:SU9000】 ・SEM(空間分解能0.4nm)とSTEM(空間分解能0.34nm)の高分解能同視野観察 ・30kV以下の低加速観察 ・コールドFE電子銃 ・EDSによる高解像度元素マッピング ・含水サンプルの凍結観察個体表面における原子の分布を高分解能マッッピング 【3次元SEM画像測定解析システムVE-9800 KEYENCE】 ・加速電圧0.5-20kV ・さまざまな有機/無機/複合材料表面構造解析低加速電圧観察可能(0.5 kV)、 ・非導電性試料でも非蒸着で観察可能 ・測定真空度3-260MPaで最高分解能30 nm |
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