| 設置機関 | 九州大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | 表面分析 > XPS |
| 製造元 | 島津製作所?( Shimazu ) |
| 型番 | AXIS-ULTRA |
| 設備名称 | 電子状態測定システム (X-ray photoelectron spectrometer) |
| 装置スペック | ・測定範囲10~1500 eVを25meV以下のステップ、 ・分析面積15μmφ~ ・Mg/AlデュアルX線源、出力~450W ・イオンポンプ、真空到達度10-10 Pa ・Arエッチング可能、 ・予備室内での加熱処理対応、 ・大面積試料バーで複数試料の同時マウントが可能 ・元素マッピング可能 |
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