| 設置機関 | 京都大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | 顕微鏡 > 試料加工装置 |
| 製造元 | エスアイアイ・ナノテクノロジー(株) (SII NanoTechnology Inc.) |
| 型番 | NVision40PI |
| 設備名称 | 集束イオンビーム走査電子顕微鏡 (Cross-Beam with Focused Ion Beam and FE-SEM ) |
| 装置スペック | 高性能FIBとFE-SEMのクロスビーム装置(各種分析機能付)。 ・基板サイズ:MAX Φ30mm ・検出器:SE×2(インレンズSE、チャンバーSE)、反射電子(EsB) ・ガスインジェクションシステム:C、W、SiOx ・マイクロプロービングシステム ・EDX/EBSDインテグレーションシステム:EDAX Pegasus ・ピコインデンターシステ |
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