| 設置機関 | 京都大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | デバイス > |
| 製造元 | (株)カナメックス (KANAMEX Co., Ltd.) |
| 型番 | KLO-200SV1 |
| 設備名称 | 高圧ジェットリフトオフ装置 (High Pressure Jet Lift-off System) |
| 装置スペック | 高圧ジェット(NMP)を用いた枚葉式スピンリフトオフ装置。 ・基板サイズ:Φ4、Φ6、不定形 ・高温NMPによるレジスト膨潤(MAX80℃) ・MAX14MPaの高圧ジェットによるバリ&再付着防止 |
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