デバイス >
露光装置（ステッパー） (i-line Stepper)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 京都大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | デバイス > |
| 製造元 | (株)ニコン (NIKON CORPORATION) |
| 型番 | NSR-2205i11D |
| 設備名称 | 露光装置（ステッパー） (i-line Stepper) |
| 装置スペック | i線光源を用いたステップアンドリピート方式の縮小投影露光装置。 ・解像度：<0.35μm ・光源：i線（365nm） ・絞り：通常、輪帯、Shrink ・縮小倍率：1/5倍（N.A. 0.63、0.57） ・露光範囲：MAX □22mm ・アライメント：LSA、FIA ・基板サイズ：Φ4,Φ6（透明基板対応） |
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