| 設置機関 | 東京工業大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | 顕微鏡 > 走査電子顕微鏡 |
| 製造元 | キーエンス |
| 型番 | VHX-D510 |
| 設備名称 | 低真空SEM (SEM at low vacuum) |
| 装置スペック | レンズ:電子式超深度レンズ+光学 倍率: 30-5000倍(垂直)、30-2000倍(傾斜)、50-500倍(光学) 観察像:2次電子 試料サイズ: Φ100 mm 5軸(XYZ+傾斜+回転) 試料室200 mm ×200 mm 試料高さ 30 mm |
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