| 設置機関 | 東京工業大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | デバイス > |
| 製造元 | 日本酸素 |
| 型番 | HR-3246 |
| 設備名称 | 有機金属気相成長装置 (Metal organic vapor phase epitaxy) |
| 装置スペック | InP用 ・ウェハトレイ:石英製2インチウェハトレイ ・III族材料:TEG,TMG,TMA,TMI,CBr4 ・V族材料:AsH3(100%),AsH3(1%),PH3(100%),Si2H6,C2H6Zn |
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