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デバイス >

サムコ原子層堆積装置_2[AD-100LP] (Atomic Layer Deposition_2〔AD-100LP〕)
学内学外とも共用 マテリアル先端リサーチインフラ

設置機関 産業技術総合研究所
研究科・学部
設備分類 デバイス >
製造元 サムコ (Samco)
型番 AD-100LP
設備名称 サムコ原子層堆積装置_2[AD-100LP] (Atomic Layer Deposition_2〔AD-100LP〕)
装置スペック ・型式: AD100-LP (サムコ株式会社) ・試料サイズ:4インチ(2インチは3枚まで搭載可能) ・ステージ温度:50 ~ 500℃ ・放電方式: 誘導結合式ICPプラズマ(ダウンフロー型、リモート型) ・ICP高周波電源: 300W(13.56MHz) ・試料導入方式: ロードロック式 ・キャリアガス:N2 ・反応ガス:H2O, O2、ピュアオゾン, N2、NH3、H2、Ar ・材料ガス:TMA,BDEAS
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〒444-8585 愛知県岡崎市明大寺町字西郷中38番地
電話番号:0564-55-7490
MAIL : eqnet-office@ims.ac.jp
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