| 設置機関 | 産業技術総合研究所 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | デバイス > |
| 製造元 | 溝尻光学工業所 (Mizojiri-opt) |
| 型番 | DHA-XA2M |
| 設備名称 | 単波長エリプソメータ (Single Wavelength Ellipsometer) |
| 装置スペック | ・型式:DHA-XA2M ・試料サイズ:4インチφ ・光源:He/Neレーザー(632.8nm)、LD830(830nm) ・測定方式:回転検光子法 ・入射角度:55°~75° |
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