短波長レーザー顕微鏡[VK-9700] (Laser Microscope〔VK-9700〕)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 産業技術総合研究所 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | 顕微鏡 > 光学顕微鏡 |
| 製造元 | キーエンス (KEYENCE) |
| 型番 | VK-9700 |
| 設備名称 | 短波長レーザー顕微鏡[VK-9700] (Laser Microscope〔VK-9700〕) |
| 装置スペック | ・型式:VK-9700 Generation II（キーエンス社製） ・試料サイズ:100mmφ ・倍率:最大18000倍 ・分解能:1 nm（Z方向、高さ） ・高さ測定範囲:7 mm ・表示分解能:0.001 μm ・幅測定表示分解能:0.001 μm ・フレームピクセル数:2048×1536 ・モノクロ映像:14 bit ・カラー映像:RGB各8 bit、高さ測定用:24 bit ・光学ズーム:1x～6x ・測定レーザー:波長408 nm、最大出力0.9 mW ・受光:光電子増倍管 ・観測:100 Wハロゲン光源 ・撮像素子:カラーCCDイメージセンサ |
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